Na objednávku
158.39 €
bežná cena: 175.99 €
O knihe
Offering thorough coverage of atomic layer deposition (ALD), this book moves from basic chemistry of ALD and modeling of processes to examine ALD in memory, logic devices and machines. Reviews history, operating principles and ALD processes for each device.
- Vydavateľstvo: Springer US
- Rok vydania: 2013
- Formát: Hardback
- Rozmer: 241 x 160 mm
- Jazyk: Anglický jazyk
- ISBN: 9781461480532
Nemecký jazyk 
