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Grundlegende Untersuchungen zum konstruktiven Aufbau von Fünfachs-Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
Autor: Ralf Schienbein
Die vorliegende Arbeit beinhaltet Realisierungsmöglichkeiten des konstruktiven
Aufbaus von Fünfachs-Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPMM).
Mit zusätzlichen rotatorischen Freiheiten wird die Limitierung kartesisch operierender
NPMM hinsichtlich...
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Die vorliegende Arbeit beinhaltet Realisierungsmöglichkeiten des konstruktiven
Aufbaus von Fünfachs-Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPMM).
Mit zusätzlichen rotatorischen Freiheiten wird die Limitierung kartesisch operierender
NPMM hinsichtlich der Adressierbarkeit stark gekrümmter Objektgeometrien
überwunden. Systematisch werden modular variierte Maschinenkonzepte
im Hinblick auf die Realisierung mehrachsiger Bewegungen entwickelt.
Ein hohes Potential zeigen Varianten mit drei unabhängigen linearen
Bewegungen des Objektes in Kombination mit zwei unabhängigen Rotationen
des Tools um einen gemeinsamen Momentanpol, der dauerhaft mit dem
Arbeitspunkt des Tools und dem Abbepunkt der kartesischen NPMM übereinstimmt.
Ein derartiger Aufbau, der ultrapräzise Rotationen eines Tools
mit einer Masse +/- 2 kg gewährleistet, wird innerhalb einer NPMM erprobt.
Die Positionierabweichungen werden mit Fabry-Pérot-Interferometern gegenüber
einem halbkugelförmigen Konkavspiegel in situ erfasst.
- Vydavateľstvo: Universitätsverlag Ilmenau
- Rok vydania: 2020
- Formát: Hardback
- Rozmer: 216 x 153 mm
- Jazyk: Nemecký jazyk
- ISBN: 9783863602291
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