• Ruský jazyk

Jelementy tehnologicheskih ustanovok v mikrojelektronnom proizvodstve

Autor: Nikolaj Lemeshko

Rabota posvyashhena voprosu tehnologicheskogo osnashheniya mikrojelektronnogo proizvodstva. V knige privoditsya informaciya o naznachenii i konstrukcii jelementov tehnologicheskih ustanovok, obespechivajushhih serijnoe mikrojelektronnoe proizvodstvo. Rassmatrivajutsya... Viac o knihe

Na objednávku

36.99 €

bežná cena: 41.10 €

O knihe

Rabota posvyashhena voprosu tehnologicheskogo osnashheniya mikrojelektronnogo proizvodstva. V knige privoditsya informaciya o naznachenii i konstrukcii jelementov tehnologicheskih ustanovok, obespechivajushhih serijnoe mikrojelektronnoe proizvodstvo. Rassmatrivajutsya sredstva sozdaniya i kontrolya vakuuma, metody i sredstva ispareniya materialov, poluchenie i kontrol' parametrov tonkih plenok, ustrojstva jepitaxial'nogo narashhivaniya, metody i sredstva polucheniya zashhitnyh dijelektricheskih sloev, metody i osnashhenie dlya legirovaniya poluprovodnikov. Privodimaya informaciya mozhet byt' polezna inzheneram, tehnologam, razrabotchikam mikrojelektronnyh izdelij, a takzhe studentam vysshih tehnicheskih uchebnyh zavedenij.

  • Vydavateľstvo: LAP LAMBERT Academic Publishing
  • Rok vydania: 2015
  • Formát: Paperback
  • Rozmer: 220 x 150 mm
  • Jazyk: Ruský jazyk
  • ISBN: 9783659808548

Generuje redakčný systém BUXUS CMS spoločnosti ui42.