- Ruský jazyk
Jelementy tehnologicheskih ustanovok v mikrojelektronnom proizvodstve
Autor: Nikolaj Lemeshko
Rabota posvyashhena voprosu tehnologicheskogo osnashheniya mikrojelektronnogo proizvodstva. V knige privoditsya informaciya o naznachenii i konstrukcii jelementov tehnologicheskih ustanovok, obespechivajushhih serijnoe mikrojelektronnoe proizvodstvo. Rassmatrivajutsya... Viac o knihe
Na objednávku
36.99 €
bežná cena: 41.10 €
O knihe
Rabota posvyashhena voprosu tehnologicheskogo osnashheniya mikrojelektronnogo proizvodstva. V knige privoditsya informaciya o naznachenii i konstrukcii jelementov tehnologicheskih ustanovok, obespechivajushhih serijnoe mikrojelektronnoe proizvodstvo. Rassmatrivajutsya sredstva sozdaniya i kontrolya vakuuma, metody i sredstva ispareniya materialov, poluchenie i kontrol' parametrov tonkih plenok, ustrojstva jepitaxial'nogo narashhivaniya, metody i sredstva polucheniya zashhitnyh dijelektricheskih sloev, metody i osnashhenie dlya legirovaniya poluprovodnikov. Privodimaya informaciya mozhet byt' polezna inzheneram, tehnologam, razrabotchikam mikrojelektronnyh izdelij, a takzhe studentam vysshih tehnicheskih uchebnyh zavedenij.
- Vydavateľstvo: LAP LAMBERT Academic Publishing
- Rok vydania: 2015
- Formát: Paperback
- Rozmer: 220 x 150 mm
- Jazyk: Ruský jazyk
- ISBN: 9783659808548