- Ruský jazyk
Primenenie ionno-luchevogo travleniya pri udalenii passivacii mikroshem
Autor: Daniil Abdullaew
V dannoj rabote privedjon analiticheskij obzor otechestvennoj i zarubezhnoj literatury po metodu suhogo vakuumnogo travleniya materialov, predstavlen obzor primenyaemoj metodiki issledovaniya. V rabote predstavleny rezul'taty optimizacii processov reaktivno-ionnogo... Viac o knihe
Na objednávku
36.99 €
bežná cena: 41.10 €
O knihe
V dannoj rabote privedjon analiticheskij obzor otechestvennoj i zarubezhnoj literatury po metodu suhogo vakuumnogo travleniya materialov, predstavlen obzor primenyaemoj metodiki issledovaniya. V rabote predstavleny rezul'taty optimizacii processov reaktivno-ionnogo plazmennogo i ionno-luchevogo travleniya passivacionnyh slojov integral'nyh mikroshem v ramkah tehnologii analiza otkazov. V organizacionno-jekonomicheskoj chasti predstavleny raschjoty stoimosti i celesoobraznosti dannyh issledovanij. Rezul'tatom provedjonnoj raboty stala novaya metodika udaleniya passivacionnyh slojov integral'nyh mikroshem v ramkah tehnologii analiza otkazov, otlichajushhayasya ot sushhestvujushhih vysokoj stepen'ju planarizacii poverhnosti kristalla integral'noj shemy pri minimal'nom povrezhdenii mezhslojnogo dijelektrika.
- Vydavateľstvo: LAP LAMBERT Academic Publishing
- Rok vydania: 2014
- Formát: Paperback
- Rozmer: 220 x 150 mm
- Jazyk: Ruský jazyk
- ISBN: 9783659207068