-
Ruský jazyk
Tehnologiq MJeMS: Podhod k izgotowleniü tonkih älektrostaticheskih linz
Autor: Anjli Sharma
S momenta otkrytiq mikrokolonki Changom w 1980 godu, woznik ogromnyj interes k miniatürnym mikrokolonkam iz-za ih razlichnyh primenenij, takih kak prqmaq älektronno-luchewaq litografiq, nedorogoe ustrojstwo, nizkowol'tnaq SJeM i portatiwnaq SJeM iz-za ih... Viac o knihe
Na objednávku
22.95 €
bežná cena: 25.50 €
O knihe
S momenta otkrytiq mikrokolonki Changom w 1980 godu, woznik ogromnyj interes k miniatürnym mikrokolonkam iz-za ih razlichnyh primenenij, takih kak prqmaq älektronno-luchewaq litografiq, nedorogoe ustrojstwo, nizkowol'tnaq SJeM i portatiwnaq SJeM iz-za ih wysokoj propusknoj sposobnosti. Kompaktnyj razmer pozwolqet sobirat' mikrokolonki w massiwnuü formu, chto znachitel'no uluchshaet proizwoditel'nost' wizualizacii ili propusknuü sposobnost' litografii. My izgotowili i issledowali tri razlichnye konstrukcii mikrokolonok, w kazhdoj iz kotoryh ispol'zowalas' modificirowannaq ishodnaq linza, razlichnoe rabochee rasstoqnie, ob#ektiw i bez ob#ektiwa. Kachestwo izobrazheniq i tok zonda wseh nowyh izgotowlennyh mikrokolonok byli issledowany. Jelektrostaticheskie linzy byli izgotowleny metodom MJeMS. V kachestwe istochnika izlucheniq dlq ätih kolonok ispol'zowalsq polewoj ämitter 2D-CNT. Nashi rezul'taty pokazali, chto sredi wseh treh struktur mikrokolonok ul'traminiatürizirowannaq mikrokolonka pokazala samyj wysokij tok zonda ~9,5 nA. Ul'traminiatürizirowannaq mikrokolonka mozhet stat' perspektiwnym kandidatom dlq instrumenta litografii sleduüschego pokoleniq, tak kak ee konstrukciq bol'she podhodit dlq integrirowannoj mikrokolonki w masshtabe plastiny, chem obychnaq mikrokolonka.
- Vydavateľstvo: Sciencia Scripts
- Rok vydania: 2021
- Formát: Paperback
- Rozmer: 220 x 150 mm
- Jazyk: Ruský jazyk
- ISBN: 9786204156699
Anglický jazyk 
Nemecký jazyk 