-
Ruský jazyk
Vakuumno-plazmennye processy obrabotki kwarca
Autor: Vladimir Vetoshkin
V rabote opisana nowaq konstrukciq i shema raspolozheniq katodnogo i anodnogo uzlow razrabotannoj ustanowki ionno-plazmennogo trawleniq mikrostruktur so skaniruemym VCh - magnetronom, obespechiwaüschie wysokie skorosti ionnogo i reaktiwno-ionnogo trawleniq... Viac o knihe
Na objednávku
54.63 €
bežná cena: 60.70 €
O knihe
V rabote opisana nowaq konstrukciq i shema raspolozheniq katodnogo i anodnogo uzlow razrabotannoj ustanowki ionno-plazmennogo trawleniq mikrostruktur so skaniruemym VCh - magnetronom, obespechiwaüschie wysokie skorosti ionnogo i reaktiwno-ionnogo trawleniq razlichnyh materialow. Opredeleny i opisany optimal'nye rezhimy trawleniq kwarca. Vperwye predlozheno ustrojstwo dlq utilizacii hlorsoderzhaschih gazow i (ili) izmeneniq sostawa rabochego gaza. Opredeleny optimal'nye rezhimy processow reaktiwnogo ionno-luchewogo trawleniq kwarca w razlichnyh hlorsoderzhaschih gazah. Issledowany wozmozhnosti ispol'zowaniq twerdotel'nogo istochnika ftora dlq ionno-luchewogo trawleniq kwarca. Opredeleny optimal'nye rezhimy ionno-luchewyh i ionno-plazmennyh processow polirowki kwarca.
- Vydavateľstvo: LAP LAMBERT Academic Publishing
- Rok vydania: 2011
- Formát: Paperback
- Rozmer: 220 x 150 mm
- Jazyk: Ruský jazyk
- ISBN: 9783844352887
Anglický jazyk 
Nemecký jazyk 