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BERECHNUNGSMETHODE FÜR DIE ENERGIEBERECHNUNG
Autor: Karan Giri
Es wurde eine rechnerische Berechnung der Energieverlust- und Schädigungsprofile bei der unabhängigen Implantation von Gallium- und Arsen-Ionen auf amorphes Germanium während der Ionenimplantation durchgeführt. Die erforderlichen Energien für die Dotierung... Viac o knihe
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Es wurde eine rechnerische Berechnung der Energieverlust- und Schädigungsprofile bei der unabhängigen Implantation von Gallium- und Arsen-Ionen auf amorphes Germanium während der Ionenimplantation durchgeführt. Die erforderlichen Energien für die Dotierung von Gallium-Ion und Arsen-Ion auf Germanium, um maximale Schäden bei 600 Å zu erreichen, wurden mit SRIM berechnet. Diese Energien führen, wenn sie unabhängig voneinander auf Germanium implantiert werden, während des Kollisionsprozesses zur Erzeugung von Germanium-Rückstoßimpulsen, Leerraum-Zwischengitterpaaren und Phononen. Bei 130 keV Galliumion beträgt die für die Ionisierung, Phon-Erzeugung und Vakanzerzeugung verwendete Energie 37.713 keV (29,01%), 90.006 keV (64,29%) bzw. 8.71 keV (6,7%), während bei 140 keV Arsenion der Energieverbrauch für Ionisierung, Phon-Erzeugung und Vakanzerzeugung 39.634 keV (28,31%), 90.888 keV (64,92%) bzw. 9.478 keV (6,77%) beträgt. Das Ausmaß der Zielverschiebungen, Ersatzkollisionen und Leerstände werden ebenfalls bewertet.
- Vydavateľstvo: Verlag Unser Wissen
- Rok vydania: 2020
- Formát: Paperback
- Rozmer: 220 x 150 mm
- Jazyk: Nemecký jazyk
- ISBN: 9786200894809
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