Microphone électrodynamique MEMS en technologie CMOS

Francúzsky jazyk

Microphone électrodynamique MEMS en technologie CMOS

Vydavateľstvo: Éditions universitaires européennes
Rok vydania: 2011
Formát: Paperback
Rozmer: 220 x 150 mm
Jazyk: Francúzsky jazyk
ISBN: 9786131584930

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O knihe

Les microsystèmes (MEMS - Micro-Electro-Mechanical Systems) sont des composants miniaturisés réunissant des fonctions électroniques, mécaniques et optiques sur la même puce. Les technologies microsystèmes conjuguent les techniques du pointe de la microélectronique des semi-conducteurs et les nouvelles techniques du micro-usinage, permettant ainsi la réalisation de systèmes entiers sur une puce (SoC - System on Chip). En plus, cette intégration permettra de miniaturiser le système, d'améliorer ses performances, d'augmenter la sensibilité et de diminuer le bruit grâce à la réduction de la taille des composants et par la suite les capacités parasites dues aux interconnexions. Dans ce cadre vient l'objectif de cette thèse qui a pour but de concevoir et réaliser une nouvelle génération de microphone monolithique de type électrodynamique, à base de bobines spirales planaires, réalisée en technologie standard complétée par un post process de micro-usinage en volume par la face avant.