• Ruský jazyk

Primenenie ionno-luchevogo travleniya pri udalenii passivacii mikroshem

Autor: Daniil Abdullaew

V dannoj rabote privedjon analiticheskij obzor otechestvennoj i zarubezhnoj literatury po metodu suhogo vakuumnogo travleniya materialov, predstavlen obzor primenyaemoj metodiki issledovaniya. V rabote predstavleny rezul'taty optimizacii processov reaktivno-ionnogo... Viac o knihe

Na objednávku, dodanie 2-4 týždne

36.99 €

bežná cena: 41.10 €

O knihe

V dannoj rabote privedjon analiticheskij obzor otechestvennoj i zarubezhnoj literatury po metodu suhogo vakuumnogo travleniya materialov, predstavlen obzor primenyaemoj metodiki issledovaniya. V rabote predstavleny rezul'taty optimizacii processov reaktivno-ionnogo plazmennogo i ionno-luchevogo travleniya passivacionnyh slojov integral'nyh mikroshem v ramkah tehnologii analiza otkazov. V organizacionno-jekonomicheskoj chasti predstavleny raschjoty stoimosti i celesoobraznosti dannyh issledovanij. Rezul'tatom provedjonnoj raboty stala novaya metodika udaleniya passivacionnyh slojov integral'nyh mikroshem v ramkah tehnologii analiza otkazov, otlichajushhayasya ot sushhestvujushhih vysokoj stepen'ju planarizacii poverhnosti kristalla integral'noj shemy pri minimal'nom povrezhdenii mezhslojnogo dijelektrika.

  • Vydavateľstvo: LAP LAMBERT Academic Publishing
  • Rok vydania: 2014
  • Formát: Paperback
  • Rozmer: 220 x 150 mm
  • Jazyk: Ruský jazyk
  • ISBN: 9783659207068

Generuje redakčný systém BUXUS CMS spoločnosti ui42.