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Propiedades de películas delgadas de IZO impurificado con nitrógeno
Autor: Claudia Rafela Escobedo Galván
En el presente trabajo, se hace la caracterización óptica y eléctrica con la técnica de Elipsometría Espectral, de películas delgadas de IZO impurificadas con nitrógeno. Estas películas pertenecen a la familia de óxidos conductores transparentes (TCO's),... Viac o knihe
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En el presente trabajo, se hace la caracterización óptica y eléctrica con la técnica de Elipsometría Espectral, de películas delgadas de IZO impurificadas con nitrógeno. Estas películas pertenecen a la familia de óxidos conductores transparentes (TCO's), en donde una de sus cualidades es que son materiales con alta transparencia en las regiones de infrarrojo cercano, visible y ultravioleta; teniendo las características de baja resistividad eléctrica, buena movilidad y alta concentración de portadores de carga libres. Para depositar las películas de óxido de zinc e indio (IZO) dopado con nitrógeno, se utilizó la técnica de pulverización catódica reactiva asistida por radiofrecuencia. Esta técnica es altamente reproducible y tiene un alto control en la incorporación de las impurezas.
- Vydavateľstvo: Editorial Académica Española
- Rok vydania: 2018
- Formát: Paperback
- Rozmer: 220 x 150 mm
- Jazyk: Španielsky jazyk
- ISBN: 9783330097285
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