-
Ruský jazyk
Sravnenie metodov opredeleniya linejnyh razmerov nanodiapozona
Autor: Damir Muljukov
Osnovnym processom v proizvodstve poluprovodnikovyh priborov i mikroshem yavlyaetsya process litografii.Harakteristiki mikroshem zavisyat ot tochnosti izgotovleniya ih minimal'nyh jelementov. Jeto pred#yavlyaet povyshennye trebovaniya k analiticheskim sredstvam... Viac o knihe
Na objednávku, dodanie 2-4 týždne
33.30 €
bežná cena: 37.00 €
O knihe
Osnovnym processom v proizvodstve poluprovodnikovyh priborov i mikroshem yavlyaetsya process litografii.Harakteristiki mikroshem zavisyat ot tochnosti izgotovleniya ih minimal'nyh jelementov. Jeto pred#yavlyaet povyshennye trebovaniya k analiticheskim sredstvam kontrolya parametrov struktur v processe ih proizvodstva, a pervuju ochered' ih geometricheskih harakteristik - linejnyh razmerov jelementov. Proekt posvyashhen aktual'noj teme sravnenie opticheskih i jelektronno-mikroskopicheskih metodov izmereniya linejnyh razmerov v proizvodstve integral'nyh mikroshem nanometrovogo diapazona. Byli issledovany struktury metodami rastrovoj jelektronnoj mikroskopii i skatterometrii. V hode analiza rezul'tatov jexperimenta bylo pokazano, chto bolee informativnym i tehnologichnym metodom kontrolya linejnyh razmerov yavlyaetsya metod skatterometrii. Najdeny dispersionnye zavisimosti opticheskih konstant ot dliny volny dlya materialov sloev fotorezista i antiotrazhajushhego pokrytiya. Vybrany optimal'nye parametry processa fotolitografii dlya formirovaniya struktur s proektnymi normami 90 nm. Vo vremya raboty v OAO «NIIMJe» provodilsya bol'shoj ob#em rabot po sovremennym metodam kontrolya linejnyh razmerov.
- Vydavateľstvo: LAP Lambert Academic Publishing
- Rok vydania: 2015
- Formát: Paperback
- Rozmer: 220 x 150 mm
- Jazyk: Ruský jazyk
- ISBN: 9783659805196
Anglický jazyk 
Nemecký jazyk 